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大幅面3D轮廓仪
大幅面3D轮廓仪采用可变倍率超高精度的3D光学传感器，扫描样品的局部宽度、深度以及三维形貌。结合高精度运动控制平台和图像处理算法，实现完美的图像拼接检测，可将测量幅面扩展到600x400mm区域。
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